Параметры пленок алюминия и новая технология легирования алмаза

Наука и жизньНаука

Рефераты

Подготовил Леонид Ашкинази.

Алюминий бывает разным

Тонкие алюминиевые плёнки используются во многих ситуациях, и для разных применений нужны разные их свойства, например шероховатость, сопротивление, толщина. Для некоторых применений желательно иметь возможно более гладкие плёнки, для других существенна температура сверхпроводящего перехода. Свойства плёнок зависят от состава и структуры, в частности, от размера кристаллов и их ориентации (текстуры). Многие характеристики определяются технологией нанесения (например, термическое это напыление или магнетронное распыление), режимом напыления (скорости напыления, вакуума), внесением при напылении примесей.

Исследователи из Института радиотехники и электроники им. В . А. Котельникова РАН, Физико-технологического института им. К. А. Валиева РАН, Высшей школы экономики и Южно-Российского государственного политехнического университета им. М. И. Платова (г. Новочеркасск) изучили параметры плёнок алюминия толщиной 150 нм, полученных с помощью двух технологий напыления при разной температуре подложки. Во-первых, плёнок, изготовленных методом магнетронного распыления на подложки Si(111) при 300 K, во-вторых, полученных термическим испарением на подложки Si(111) и оксидированные кремниевые подложки SiO2/Si(001) при 77 и 300 K. «Магнетронные» плёнки оказались крупнозернистыми (160—280 нм) и шероховатыми (4,1—5,0 нм). Ситуация для «термических» плёнок зависела от температуры подложки при напылении. Если эта температура была 300 К, размер зерна оказывался 20—54 нм, шероховатость 1,3—1,5 нм, при 77 К размер зерна составлял 15—45 нм, шероховатость 1,7—2,6 нм. Температура сверхпроводящего перехода для «магнетронных» плёнок была 1,2 К, для «термических» — 2,3 К. Сопротивление мелкозернистых плёнок оказалось в несколько раз больше, чем у крупнозернистых.

Тарасов М. А. и др. Морфология и электрические параметры тонких алюминиевых плёнок, осаждаемых на подложки при температурах от 77 до 800 K. Письма в ЖТФ, 2025, вып. 4. с. 42.

Авторизуйтесь, чтобы продолжить чтение. Это быстро и бесплатно.

Регистрируясь, я принимаю условия использования

Рекомендуемые статьи

БИНТИ БИНТИ

Какие микробы больше всего интересуют исследователей и кому лучше спится?

Наука и жизнь
AvtoRevizorro рассказал, как работают автоскамеры нового поколения AvtoRevizorro рассказал, как работают автоскамеры нового поколения

AvtoRevizorro раскрыл схему обмана клиентов через благотворительность

РБК
Семь крапив Семь крапив

В России окультуривают ценное, полезное, но очень жгучее растение

Наука
Игорь Никитин: Вокруг меня нет случайных людей Игорь Никитин: Вокруг меня нет случайных людей

Тренер ПХК ЦСКА Игорь Никитин — о подготовке команды к сезону и личной жизни

Ведомости
Битва при Ипсе Битва при Ипсе

Последним сражением Четвёртой войны диадохов стала битва при Ипсе

Дилетант
Культ личности Культ личности

Как повысить самооценку и изменить жизнь к лучшему

Лиза
Марина Монгуш: «Креативная экономика — это не только про деньги, но и про социальные эффекты» Марина Монгуш: «Креативная экономика — это не только про деньги, но и про социальные эффекты»

Почему креативная экономика становится движущей силой развития России?

ФедералПресс
От бобра до банкротства: 1670–2025 От бобра до банкротства: 1670–2025

История самой старой компании Северной Америки

Деньги
Львинохвостые макаки, или Вандеру Львинохвостые макаки, или Вандеру

Львинохвостые макаки – очень капризные и не желающие быть фотомоделями

Знание – сила
Группа GORODA: «В России есть достойные музыканты» Группа GORODA: «В России есть достойные музыканты»

Группа GORODA стремительно ворвалась на музыкальную сцену, став ярким открытием

ЖАРА Magazine
Дорогой лапши Дорогой лапши

Китайская лапша давно свернула с Великого шелкового пути

Seasons of life
Обратная связь планеты Обратная связь планеты

Почему Арктика — самое «горячее» место на планете?

Наука и жизнь
Пинты лиха Пинты лиха

Культура Туманного Альбиона кроется в акцентах — в том числе и музыкальных

Weekend
Свидание с Россией Свидание с Россией

Губернатор Ярославской области — чем заняться и где остановиться в регионе

RR Люкс.Личности.Бизнес.
Спаривание черного ягуара впервые запечатлели в природе Спаривание черного ягуара впервые запечатлели в природе

Самка-меланистка совокупилась с пятнистым самцом в одном из национальных парков

N+1
Поклон Осаке Поклон Осаке

Футуристическая, эксцентричная Осака сохранила дух настоящего нонконформизма

Y Magazine
ИИ в школе: инструмент или угроза? ИИ в школе: инструмент или угроза?

Внедрение ИИ — неизбежный этап. Какова будущая роль учителя в новой системе?

Монокль
Как скопировать и вставить таблицу в Экселе Как скопировать и вставить таблицу в Экселе

Как скопировать таблицу в Эксель так, чтобы все осталось на своих местах

CHIP
Святая обитель Святая обитель

Остров Валаам – место притяжения паломников, историков и археологов

Отдых в России
Одно из самых опасных транспортных средств: как погибла Мэри Уорд — первая в мире жертва автомобильного ДТП Одно из самых опасных транспортных средств: как погибла Мэри Уорд — первая в мире жертва автомобильного ДТП

Кто такая Мэри Уорд и как она связана с первым в мире ДТП

ТехИнсайдер
Аграрий 2.0: 10 профессий, показывающих, как технологии меняют сельское хозяйство Аграрий 2.0: 10 профессий, показывающих, как технологии меняют сельское хозяйство

От сити-фермеров до агроинженеров — спектр новых профессий впечатляет

Maxim
Виноват не хакер: 4 мифа о кибербезопасности, которые ставят бизнес под удар Виноват не хакер: 4 мифа о кибербезопасности, которые ставят бизнес под удар

Проблема кибербезопасности может крыться не в хакерах, а в сотрудниках

Inc.
20 легендарных мультфильмов для всех возрастов, которые должен посмотреть каждый хоть раз в жизни 20 легендарных мультфильмов для всех возрастов, которые должен посмотреть каждый хоть раз в жизни

Мультики, которые стоит посмотреть всем вне зависимости от возраста

Правила жизни
Горы зовут Горы зовут

Ради чего стоит ехать на два самых популярных курорта Карачаево-Черкесии

Лиза
День мира День мира

Наш проект «День мира» родился из истории, начавшейся почти сто лет назад

Seasons of life
«Владивосток может стать новым Гонконгом» «Владивосток может стать новым Гонконгом»

Экономический ландшафт Дальнего Востока меняется, он привлекает инвестиции

Деньги
Первый звонок, линейка, букеты цветов: почему учебный год начинается именно 1 сентября Первый звонок, линейка, букеты цветов: почему учебный год начинается именно 1 сентября

Почему именно 1 сентября отмечается День знаний в России и странах бывшего СССР

ТехИнсайдер
Геологи раскрыли тайну Великого Лиссабонского землетрясения XVIII века Геологи раскрыли тайну Великого Лиссабонского землетрясения XVIII века

Как землетрясение 1755 года изменило Европу: научное объяснение катастрофы века

ТехИнсайдер
Бессарабские друзья и знакомые Пушкина Бессарабские друзья и знакомые Пушкина

Род Пушкиных был связан с Бессарабией, со времен прадеда поэта, Абрама Ганнибала

Знание – сила
Мягкая сила Мягкая сила

Искусствовед — о дарах и уроках Великого шелкового пути

Seasons of life
Открыть в приложении